除了一些特殊的樹脂不能進行再生之外，超純水拋光樹脂一般來說是能夠再生的，不過超純水拋光樹脂的再生操作要比其他的樹脂要難一些，超純水拋光樹脂的詳細步驟可以分為分層、再生、清洗、混合以及正洗。
超純水拋光樹脂由什么組成？
在了解超純水樹脂能否再生之前，我們先來了解一下超純水樹脂是由什么組成的，超純水拋光樹脂一般是由兩種樹脂混合而成，陰、陽離子交換樹脂會按照一定的比例進行混合，一般這個比例是1:2或者1:1，這兩種樹脂一種是陽離子交換樹脂，另一種是陰離子交換樹脂，陽離子交換樹脂會將水中的陽離子吸附，而陰離子交換樹脂能夠將陰離子吸附，使產水達到超純水的標準，一般超純水樹脂的產水電阻率能夠達到18兆歐以上。
超純水拋光樹脂能再生嗎？
一般情況下，超純水拋光樹脂都是能夠進行再生的，只是要比其他樹脂的再生要麻煩一些而已，但是有一些特殊的超純水樹脂是不能進行再生的，如果是不能再生的樹脂，一般賣家會在出售時就會提醒，也可以主動的詢問商家，確定購買的超純水樹脂是否能夠再生。
超純水拋光樹脂的再生方法：
1.分層：
先打開反洗閥與反洗排放閥，反洗流速不能太快，一般在10m/h左右，直至陰、陽樹脂分層明顯，反洗結束應緩慢關閉反洗閥，使樹脂顆粒逐步沉降，以達到最佳分層效果。如果分層效果不明顯，可以進行多次分層。
2.再生：
陰樹脂可以使用濃度為5%的堿液（NaOH）再生，清洗時間大概在40分鐘左右，流速應保持6m/h，廢液會從中間排管排放，為防止堿液進入陽樹脂內，可以從底部進入少量的水與再生堿液一起從中排管排放。
陽樹脂則使用濃度為4%的酸液（HCL）清洗，時間大概在30分鐘左右，為防止酸液進入陰樹脂內，并對陰樹脂進行小流量清冼，因此，從進堿管進入一定清流洗水，與再生酸液一起從中排管排放。
3.清洗：
繼續以流速6m/h進行置換清洗，廢液中排管排放，陰樹脂直至排出水OH-堿度小于0.5［H+］mmol/l為止，陽樹脂直至排出水酸度小于0.5［H+］mmol/l為止。
4.混合：
將樹脂罐的水放至樹脂層上10-500px左右，然后進行混合，混合時間大概在10分鐘左右，壓力在1-1.5kg/cm²。
5.正洗：
用水從上往下清洗樹脂，當水充滿設備時打開下排閥，關閉排氣閥，正洗流速同制水流速，當出水電阻率大于出水要求時，即可正常使用。
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